超純水的需求隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對超純水質(zhì)量要求提高，從而大大的推動了純水技術(shù)的發(fā)展，超純水機(jī)得到了廣泛的應(yīng)用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術(shù)先進(jìn)的水處理技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，膜法制備純水取代了傳統(tǒng)的離子交換器系統(tǒng)，解決了TOC問題，滿足了電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求。

一、精濾純水處理

  用特殊材料制成的濾膜，過濾精度較高。常見的為微濾膜和濾芯過濾。

二、粗濾純水處理

  指機(jī)械過濾，去除水中的懸浮物，膠體、濁度、色度、異味等。主要過濾方式有澄清池、快濾池、砂濾池、砂濾器、多介質(zhì)過濾器、活性碳過濾器、盤式過濾器、高效纖維過濾器等。

三、超純水處理

  是一種膜過濾，去除大分子和膠體、細(xì)菌等。過濾精度高，常見的是超濾膜。超濾膜不能去除水中的離子，即它沒有除鹽功能。用于反滲透預(yù)處理或反滲透后的精處理，也可以單獨(dú)使用。超濾是一種流體切向流動和壓力驅(qū)動的過濾過程，并按分子量大小來分離顆粒。超濾膜的孔徑大約在0.002-0.1微米范圍內(nèi)。溶解物質(zhì)和比膜孔徑小的物質(zhì)能作為透過液透過濾膜，不能透過濾膜的物質(zhì)被濃縮于排放液中。因此產(chǎn)水中含有水、溶解固體及小分子量物質(zhì)，而膠體、懸浮顆粒、高分子量有機(jī)物、細(xì)菌、病毒和原生動物將被過濾去除。

四、反滲透純水處理

  反滲透簡稱RO，是六十年代發(fā)展起來的一種膜分離技術(shù)，其原理是原水在高壓力的作用下通過反滲透膜，水中的溶劑由高濃度向低濃度擴(kuò)散從而達(dá)到分離、提純、濃縮的目的，由于它同自然界的滲透方向相反，因此稱它為反滲透。反滲透可以去除水中的細(xì)菌、病毒、膠體、有機(jī)物和98％以上的溶解性鹽類。該方法具有運(yùn)行費(fèi)用低，操作簡單，自動化程度高，出水水質(zhì)穩(wěn)定等特點(diǎn)。與其它傳統(tǒng)的水處理方法相比具有明顯的優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于超純水機(jī)水處理技術(shù)上。

五、EDI純水處理

  將電滲析和離子交換相結(jié)合的除鹽新工藝，該設(shè)備取電滲析和混床離子交換兩者之長，彌補(bǔ)對方之短，即可利用離子交換做深度處理，且不用藥劑進(jìn)行再生，利用電離產(chǎn)生的H+和OH-，達(dá)到再生樹脂的目的。EDI對進(jìn)水要求較高，必須是反滲透產(chǎn)水或相當(dāng)于反滲透產(chǎn)水的水質(zhì)。它具有如下特點(diǎn)：

 1、可連續(xù)生產(chǎn)符合用戶要求的合格超純水，產(chǎn)水穩(wěn)定；

 2、無需化學(xué)藥品進(jìn)行再生，沒有化學(xué)物排放，屬綠色環(huán)保產(chǎn)品；

 3、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，制水成本低；

 4、出廠前完成裝置調(diào)試，現(xiàn)場安裝調(diào)試簡單；

 5、運(yùn)行操作簡單，勞動強(qiáng)度極低，培訓(xùn)容易。

 六、離子交換純水處理

  水中各種無機(jī)鹽類電離生成陽、陰離子，經(jīng)過氫型離子交換劑層時，水中的陽離子被氫離子所取代，即是陽床的除鹽原理。

  水中各種無機(jī)鹽類電離生成陽、陰離子，經(jīng)過OH-型離子交換劑層時，水中的陰離子被OH-離子所取代，即是陰床的除鹽原理。

  混床是陽、陰離子交換樹脂按一定比例混合裝填于同一交換柱內(nèi)的離子交換裝置。均勻混合的樹脂層，陽樹脂與陰樹脂緊密交錯排列，每一對陽樹脂與陰樹脂顆粒類似于一組復(fù)床，故可以把混床視作無數(shù)組復(fù)床串聯(lián)運(yùn)行。